談?wù)劶す夂诵墓鈱W(xué)元件的抗損傷閾值測試

　　光學(xué)薄膜激光損傷閾值測試依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO建立，主要用于薄膜或光學(xué)元件表面強(qiáng)激光承受能力的測試?？蛇M(jìn)行光學(xué)元件或薄膜激光損傷閾值及損傷斑的測試；激光預(yù)處理，提高薄膜的激光損傷閾值。儀器使用簡單，測試方便，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化、集成化、智能化?；竟δ苣K包含散射判別模塊與圖像判別模塊；擴(kuò)展功能模塊包括復(fù)核校驗(yàn)?zāi)K、光譜分析與判別模塊、聲譜分析與判別模塊、質(zhì)譜分析及判別模塊。

　　該測試系統(tǒng)主要有以下優(yōu)勢：

　　首先，相互補(bǔ)充、互為校對的多種損傷判別方法。每種損傷判別方法都有一定的局限性和應(yīng)用范圍，單一的損傷判別方法難以對不同厚度、不同膜系的薄膜均做出準(zhǔn)確的判別。本套系統(tǒng)集成了多種檢測方法：圖像檢測、散射檢測、光譜檢測、聲譜檢測等，這些方法相互補(bǔ)充、互為校對，拓展了測試對象的應(yīng)用范圍，為整體系統(tǒng)的測試穩(wěn)定提供了有力保障。

　　其次，高倍率的樣品在線檢測復(fù)核系統(tǒng)。由于工作距的限制，目前測試系統(tǒng)中圖像判別法采用的CCD放大倍率只能達(dá)到50倍以下，不滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的100倍的要求。對此，系統(tǒng)配備了高倍變焦顯微鏡校驗(yàn)系統(tǒng)，方便用戶在不影響測試過程，不拆卸樣品的情況下，對損傷點(diǎn)的實(shí)際情況進(jìn)行在線復(fù)查，保證了對準(zhǔn)精度。另外，雙波長共光路的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。儀器具有單波長和雙波長兩種類型。針對雙波長測試儀，采用兩臺激光器，經(jīng)過合色棱鏡，合并在一束光路上，簡化了光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，可對同一點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)雙波長激光的同時預(yù)處理。